超純水」的定義：一般指經離子交換樹脂、活性碳、濾膜法去除水中的主要不純物質，而其比電阻值達到18.2兆歐厘米的水。

純水」、「超純水」雖是實驗用水的名詞，卻無法明確表示水的純度。
將水中的導電污染物質去除到比阻抗值達18.2 MΩ．cm（25℃）時，就稱為「超純水」。在此必須注意的是，比阻抗值只是代表水中無機鹽類的含量，但并不能表示不含其它種類的污染物質。也就是，稱為「超純水」的水，還是可能含有不確定量的有機物、微粒子、微生物等污染物質。因此，必須同時使用「比阻抗值」與「TOC值」來評估水質。

不論以任何純化方法來去除污染物質，若無法達到18.2 MΩ．cm的水，都稱為「純水」。例如「離子交換樹脂水」、「蒸餾水」、「逆滲透水」等，都屬于純水。「蒸餾水」與「逆滲透水」這一類的純水，由于純化速率較慢，都必須使用純水儲槽儲存后再供使用，因此，被純化的水，在貯存過程中卻可能受到貯存器材的材質、混雜在空氣中的污染物與微生物的污染，造成水質的降低。所以，所謂的「純水」也無法代表一定會有很好的品質，其水質會因為純化方法與使用環境的不同而有所不同。